BRUKER - TRIBOLAB CMP 材料测试仪

产品介绍：

TriboLab CMP 模组测试仪 (Chemical Mechanical Polishing)

• CMP 设备减少动员特殊传感器技术选择和 CMP 研磨仪的zui佳工艺分析。
• CMP 工艺垫，泥浆，钻空调光盘，扣环，晶圆涂层

• zui佳的选择和环境技术评估环境的处理，以测试先进设备，zui先进的专有技术

• 摩擦/磨损/ ECR/声学传感器，通过开发应用。