晶圆仓储与包装自动化-Kainova Tech

产品介绍：

晶圆堆叠盒仓储拆包及分拣设备（KAS-381）

设备特色

.市场wei一N2环境晶圆堆叠盒仓储与晶圆分拣整合设备

.全自动拆包晶圆堆叠盒，双线拆包，换盒无需等待

.对应所有晶圆堆叠盒，并可自动开上盖

.依制程Recipe需求，按照Wafer ID进行排序、分批、并批、或传到指定晶圆盒位置

.对应12寸晶圆

性能规格

.zui大储量：87个晶圆堆叠盒（2175片晶圆）

.处理速度：180 WPH以上

.ISO Class 4洁净度（FS-209E Class 10）

晶圆堆叠盒仓储拆包及分拣设备（KAS-382）

性能规格

.zui大储量：8个独立N2晶圆堆叠盒储位

.处理速度：180 WPH以上

.ISO Class 4洁净度（FS-209E Class 10）

晶圆堆叠盒包装拆包及分拣设备（KAP-541）

设备特色

.市场wei一晶圆堆叠盒包装、拆包及晶圆分拣整合设备

.全自动包装与拆包晶圆堆叠盒，双线包装及拆包，换盒无需等待

.对应所有晶圆堆叠盒，并可自动开阖上盖

.依制程Recipe需求，按照Wafer ID进行排序、分批、并批、或传到指定晶圆盒位置

.兼容8寸、12寸、薄化晶圆

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性能规格

.处理速度：180 WPH以上

.ISO Class 4洁净度（FS-209E Class 10）