NanoAir™气溶胶粒子计数器

专为最关键的晶圆厂空间设计的纳米粒子计数器

NanoAir™凝结粒子计数器（CPC）是美国粒子监测系统公司（PMS）推出的一款革命性新产品。它兼具凝结粒子计数器的灵敏度以及传统洁净室粒子计数器的易用性和功能性。专为监测超洁净环境而设计，在2.8升/每分钟（0.1立方英尺/每分钟）的采样流速下，可实现10纳米检测灵敏度。

NanoAir的尺寸比同类产品小83%，因此便于在超洁净环境下的任何地点使用，甚至可在半导体制程机台和设备前端模块（EFEM）内部使用。工作流体处理系统采用正在申请专利的创新设计，非常稳健、高效，可实现全年、全天候连续运行，无需维护或任何形式的用户干预，因此减少了采样和数据收集时的中断及制程机台停工时间。

配套提供ParticleSeeker™分流产品，其搭载10个端口，支持按顺序或编程顺序监测多个采样位置的应用场景。

此外，NanoAir在选配PMS的HPD-III高压扩散器后，与高压气体兼容，数据可通过PMS Facility Net设施监测软件予以查看、分析和报送，或直接传输到第三方的监控和数据采集（SCADA）系统或作为制程机台输入值。

特点

• 在不使用零计数减法方案的情况下，零计数<1.5个计数/立方米

• 10纳米下的计数效率= 50% ± 20%，15纳米下的计数效率= 100% ± 10%

• 占用面积比同类产品小83%（16.5 x 20.2 x 15.2厘米）

• 每年只需在年度校准时补充一次工作流体，在每天24小时及每周7天的全天候操作情况下，补充一次工作流体后可维持15个月

• 灵敏度：≥10纳米

• 采样流速：2.8升/每分钟（0.1立方英尺/每分钟）

• IP地址和位置留在基站中，可实现仪器的“热交换”

• 4-20mA输入（x4）&输出（x2），用于附加传感器（例如：温度、相对湿度、DAP）。

• USB端口（2）：用于USB串口（服务端口）和U盘

• 以太网端口（2）：用于以太网协议和运行在TCP/IP上的MODBUS

• 上电后20分钟即可运行

• 数据可通过PMS Facility Net设施监控软件予以查看、分析和报送，或直接传输到第三方的监控和数据采集（SCADA）系统或作为制程机台输入值

• 按顺序或编程顺序监测（使用ParticleSeeker      10端口采样器）

• 兼容高压气体

• 适合在ISO 1级环境中使用

优势

• 在同类产品中尺寸最小，可在最关键功能区的制程机台内和拥挤的高压气体分配公用设施板上进行监测

• 工作流体处理系统采用正在申请专利的创新设计，非常稳健、高效，可实现全年、全天候连续运行，无需用户干预，防止采样和数据收集的中断

• 同类最佳的外部容积尺寸，为设计用于制造和制程控制应用场景的凝结粒子计数器设定了标准

• 不使用鞘气，提供容积采样能力

• 在运输、处理和安装过程中，不会出现其他凝结粒子计数器在工业场景下常见的非必要流体运移

• 无内泵或风扇；省去维护工作，消除潜在的颗粒生成

• 能够按顺序或编程顺序监测多个采样点

应用场景

• 制程区域的使用点（POU）监测

• 实时连续的粒子活动监测

• 在半导体制程机台和前端设备模块（EFEM）内部使用

NanoAir + ParticleSeeker （10端口采样器）：

• 在制程机台设备前端模块（EFEM）的微型环境内进行监测

• 适用于需按照晶圆片或其他关键表面的路径进行程序化采样点监测的应用场景

• 大面积污染监测，120平方米的晶圆厂/制程空间

NanoAir + HPD-III（用于高压惰性气体监测）：

• 对惰性高压气体管道进行实时、连续监测，包括压缩空气、氮气、氩气和二氧化碳

可用配件

ParticleSeeker™多口气溶胶采样器

ParticleSeeker是NanoAir™气溶胶纳米粒子计数器所配套的一款气溶胶分流器，其搭载10个端口，专门设计用于最关键的晶圆厂空间，可用于需要按顺序或编程顺序监测多个采样位置的应用场景。

高压扩散器（0.1立方英尺/每分钟）

由于粒子计数器是为大气压力所设计的，因此高压扩散器通过将压力在40-100psi的气体降至粒子计数器可接受的范围，从而实现高压气体管道中的计数颗粒。

Facility Net软件

Facility Net软件提供了一项全面的环境监测解决方案，包括实时和历史数据显示。与美国粒子监测系统公司的粒子计数器和分子污染监测器，以及各种第三方产品兼容。