PMS美国粒子监测系统公司
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美国PMS Chem 20™ 化学品粒子计数器

产品介绍：

灵敏度: 20 - 100 nm

Chem 20™ 化学式粒子计数器

jian端的微电子工艺需要非常洁净的工艺化学品，该粒子计数器需要经过高度过滤，适用于≤20nm的粒子。 PMS Chem 20化学式粒子计数器具有20 nm的粒子灵敏度，是目前灵敏度zui高的高纯度工艺化学品粒子传感器。

来自化学品输送和包装系统的广泛数据证明，与其竞争产品相比，具有20nm灵敏度的PMS Chem 20传感器统计出的颗粒浓度较大，数据具有统计意义。 Chem 20化学颗粒计数器是非常有用的工具，在化学颗粒源影响工艺和设备性能之前，它使设备和工艺工程师能够快速检测并描述化学颗粒源。


特点

  • 新增离线采样功能

  • 先进的激光光学和检测器使检测化学物质的灵敏度达到20 nm

  • 车载化学流量计用于设定样品流量

  • di一个能针对低和高折射率化学品进行优化的颗粒计数器，以提高产品性能：
    Chem 20传感器，用于具有较低折射率的化学品
    Chem 20-HI传感器，适用于硫酸和其他高指数化学品

  • 内部泄漏检测会在内部化学品泄漏时提供报警

  • 低流量检测器和报警器，以确保数据一致

  • 宏观气泡探测器用于保护传感器性能

  • 本地数据显示

优点

  • 实时检测20 nm PSL和9 nm Au微粒

  • 检测影响良率的粒子（竞争技术无法达到）

  • 在扫描表面或得到数据之前，快速响应粒子偏移

  • 优化化学品输送系统，覆盖从装卸码头到加工点的整个过程

  • 改善样本的数据统计，加强过程工艺控制

  • 针对不同洁净度的产品，使用两种视图模式优化仪器操作，拓展产品应用空间

  • 传统数据采集系统能够灵活通信

  • 便捷的在线和离线20nm监测

应用

  • 化学输送系统内的实时粒子监测

  • 流程监控点

  • 化学包装操作监控

  • 化学过滤器性能和效率描述

  • 化学处理部件的性能测试

  • 化学品质量验证


可用的配件

  • Facility Net软件

    Facility Net软件提供了一项全面环境监测的解决方案，包含实时的以及历史数据显示。兼容的PMS粒子计数器和分子污染监测器，以及各种第三方产品。

  • 液体安装套件

    与在线应用一起使用，液体安装套件包括一个 Flaretek®扩口工具，25英尺又1/4英寸氟烷氧基烷烃管子和阳螺纹接头



仪器种类: 在线流量类型: 大流量
PMS Chem 20化学式粒子计数器具有20 nm的粒子灵敏度，是目前灵敏度ZG的高纯度工艺化学品粒子传感器。

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