网络研讨会邀约 | 全面了解洁净环境中的10nm以下凝结核粒子的实时监测

随着半导体制造业推动技术进步，临界颗粒尺寸不断变小。这就要求污染监测的支持解决方案能够跟上先进制程的要求。晶圆在制造过程中会经过许多工艺设备，传统的检测方式反应速度太慢，无法对实时事件做出反应，因此需要对晶圆表面（关键区域）进行实时检测。

随着技术的提升，在晶圆的运输传送和工艺处理上可以快速精确地检测到10纳米以下的颗粒。现在，使用一台颗粒计数仪结合多点气溶胶采样器，就可以覆盖整台设备。这项技术还可用于验证和控制大宗气体的清洁度。

会议信息

会议主题：使用NanoAir10全面了解洁净环境中的粒子污染情况

会议时间：6月6日（周四）23:00准时开播

会议语言：英语

会议形式：网络直播（会后可提供回放链接）

报名方式

长按上方二维码，在页面右侧报名表内正确填写信息，立即注册报名参会

会议概览

• 了解将采样降低到10纳米的好处，以便观察到使用标准的100纳米光学粒子计数器可能遗漏的粒子偏移；

• 利用实时粒子数据，通过首个用于纳米粒子传输的智能歧管来解决问题并改善整体设备清洁度；

• 了解如何监测惰性大宗气体到10纳米；

• 了解PMS新品NanoAir10凝结核粒子计数器，该计数器维护成本低、外形小巧，且具备10 nm零计数率 （使用零计数减法方案的情况下）。

适合参会人群

“

工艺工程师和技术员

设备工程师、专家和技术员

工艺开发和集成工程师

制造工程师

设备维护工程师

设备工程师

FAB工程师

工艺负责人

设备运营经理

工艺控制工程师

计量工程师

气体制造专家

气体设备工程师

气体生产化学家

气体分配经理

气体安全协调员

质量保证工程师或协调员

讲师介绍

PMS产品线经理 Benton Hutchinson

PMS电子产品线经理Benton负责凝结核、压缩气体和空气分子污染 (AMC) 产品。他是AMC和凝结核粒子方面的应用专家，擅长洁净环境的微污染控制。Benton拥有化学工程学士和硕士学位。

PMS应用工程师 Lexi Lake

PMS应用工程师Lexi是凝结核、气体、AMC污染控制与监测方面的应用专家。在加入PMS之前，她曾设计并运行了与呼吸道和空气传播疾病及治疗相关的研究实验。Lexi拥有微生物学理学硕士学位和生物学理学学士学位。