1000℃小型RTP炉--OTF-1200X-4-RTP-合肥科晶材料技术有限公司

详细信息

OTF-1200X-4-RTP是一款精巧型快速热处理管式炉，配有4" 石英管和真空法兰，它是专为半导体或太阳能电池基片（最大达3“）的退火而设计，采用10KW红外灯管加热最快升温速度为50°C/秒.30 段温度控制，精度为+/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线。

技术参数

炉体结构	双层莫来石钢构（不带水冷或风冷）内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命
加热元件	8 根红外灯管(D=10 L=300 T =200, mm）（点击图片查看详情）
加热区	12" length with 4"X12”恒温区（ +/-5oC ）
石英管和样品架	石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length 3"的样品架固定在滑动法兰上，石英材料一片3" AlN 片放在样品架上用来放置需要退火的样品。 AlN 具有很高的热导率，所以在样品放置的区域有很好的温度均匀性+\- 5°C
真空法兰	带KF-D25 高真空法兰由不锈钢制作，两个高温“O”型圈密封滑动法兰使装载样品很容易. 3" 样品架和内插式热偶保证了温度的准确。
水冷	如果要求通冷却水. 请确定冷却水流速≥ 3L/min,水温 < 20oC;水压 > 25 PSI 我们建议采用循环水制冷器作为冷却系统（为了节约用水）. 警告:这款 RTP炉在1000oC~ 1100oC下保温时间不超过 600 秒，否则“ O”圈将被烧融
流量计	范围：16 -160 ml/min
真空表	标配：数字真空表，测量范围：10mtorr~800 torr 。注意：此表是在氮气下校准的，只有在氮气和空气下表上显示的是实际压力，当通入任何其他气体时，必须参考说明书中的相对气体对照表，否则后果会很严重。可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5至1125Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片了解详细参数）
真空度	用机械泵真空度达 50mtorr. 用分子泵真空度可达 10^-4torr.
温度控制	PID自动控制，可控硅SCR
热偶	进口K型热偶, 紧贴在放样品的AlN片下。
温控仪	PID 自动控制，30段程序带过热和断偶保护功能热偶:进口K type 自整定功能控温精度: +/- 1°C RS485 串口和温控软件（模块和数据线需要另购）温控操作视频：点击查看
最快升温速度	室温~800℃： 50^oC/sec，800℃~1000℃： 10^oC/sec
zuixin升温曲线	直接升温到1000℃；分阶段升温数据请点击查看
最快降温速度	60oC/min (在 200 mtorr下),117oC/min (在一个大气压下)选择:为得到较快的降温速度 < 10°C/秒, 你可以选择带滑轨的 RTP 炉，如下图:
温度	最高1100oC ，额定1000°C
电源	208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 最大功率12KW (> 60A 保险)
注意	此炉可以增加镀SiC的石墨坩埚改造成RTE(快速热蒸发）炉（可查看下方的图片自己制备RTE）
尺寸	760X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)
重量	45 kg(100 lbs)
保修期	电器部分一年质保期(耗材：如炉管，“O”型圈和加热灯管等不在保修范围内）
认证	CE认所有电器元件（＞24V）都通过了UL/MET/CSA认证若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
国家ZL	ZL名称：一种快速高温退火炉 ZL编号：ZL-2011-2-0077168.4 尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究
使用注意事项：	炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）