多路浮子控制供气系统

产品名称：多路浮子控制供气系统

主要特点：

本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其是方便三种气体切换使用，而不会造成大气进入加热炉管。
气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。
每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。
显示流量准确，可有效地控制气体消耗量。
所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。

工作原理：

由气体钢瓶输入两种气体，形成A，B两种组份，经过减压阀减压，输出所需流量的气体，再通过调节每一组分的体积流量，输出预定比例关系的混合气体，达到加热炉所需求得气氛。三个连接头可连接二或三只气体钢瓶（只能同时启用二个钢瓶），如：H2/AR，H2/N2，O2/N2等。
严禁氢气和氧气同时供气，保证安全。
将配比器进口的三个连接头直接连接到15MPa的供气钢瓶上，其中之一是氢气专用连接头，选择连接好两种气体，按顺序开启供气钢瓶上阀门、配比器上对应高压截止阀及三只流量计旋钮，再旋转减压阀旋钮增大气体压力，调节两种气体流量，输出所需要的压力和流量。
本供气（混气）系统可用于多种气体单一/混合连续供气系统，尤其方便多种气体的切换混合使用；气体压力和流量数据在同一平面直观可读，操作方便；每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全可靠！本系统广泛用于CVD供气系统，气体保护烧结，气体保护退火等。

技术参数：

气路通道：6（可根据客户需求设计1-8通道）
气路流量控制器： 采用质量流量计控制
标准量程（N2)：200，500 SCCM
准确度：±1.5%
线性：±0.5～1.5%
重复精度：±0.2%
响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围：0.1～0.5 MPa
最大压力：3MPa
接口：Φ6,1/4''
显示：4位数字显示
工作环境温度:5~45高纯气体
不锈钢管：Φ6（外）X Φ4内
压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀：Φ6