合肥科晶材料技术有限公司
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真空热压炉

OTF-1200X-VHP4开启式立式炉,标配dia4”石英管真空密封,20T电动压力机。是在真空高压下制备致密化合物材料的理想工具,在5吨压力下可键合多层基片。炉子可以加热到1100oC并且30段程序控温。带水冷的法兰可使真空度达到10-5Torr(用分子泵)。

技术参数

最大压力

6(压力表显示10MPa)

炉膛材料 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长炉膛的使用寿命

液压泵

(点击图片查看详情)

电动压力泵最大负载20

汽缸尺寸:直径25mm

可移动行程:15mm

最大压力自动控制

立式炉

开启式立式炉最高工作温度1100oC

加热区长度:12"(300mm)

30段程序控温精度+/-1oC

控温仪表操作视频

输出功率:2200W

输入电压:208-240VAC,50/60Hz.

石英管和密封法兰

高纯石英管100mmODx95mmIDx1200mmL

石英管两端安装水冷法兰,KF-25真空接口及压力表,底部装有1/4”不锈钢针阀进气口

在石英管内真空环境下通过底部可调整弯管移动液压柱,将压力传输到模具。

最大真空:10-5Torr用分子泵,10-2Torr用机械泵

不含真空泵、循环水冷机,可选购

耐高温压力模具

石英管内的压力模具不含在内,根据要求可以定制模具

高温模具单元由高纯石墨制成,最大工作压强50MPa

请认真设计高温模具的尺寸,选择正确的压力。

如,如果石墨坩埚的外径是dia12.7mm,只有0.8Mpa的压力可以施加到液压机(最大工作压强是50Mpa

机器尺寸

1050mm(L)x750mm(W)x1750(H)

净重

365Kg

包装重量

450Kg

质保

1

可额外延保


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