滨松光子学商贸（中国）有限公司
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PHEMOS-1000 微光显微镜 C11222-16

产品特性

● 可安装两个超高灵敏度相机


● 可安装最多3个波长的激光器和一个EOP探头光源


● 配备适合不同样品的光学工作台
产品选配

● 激光扫描系统
● 高灵敏度近红外相机进行光发射分析
● 高灵敏度中红外相机进行热分析
● 红外-光致阻值改变（IR-OBIRCH）分析
● 激光辐射动态分析
● EO探针分析
● 纳米透镜进行高分辨率、高灵敏度分析 
● 连接到CAD导航
● 连接到LSI测试仪


显示功能
叠加显示/对比度增强功能

PHEMOS-1000将发光图像叠加到高分辨率模板图像上来快速定位缺陷点。对比度增强功能可使图像更清晰，细节更多。


显示功能

  • ● 注释
    ● 图像的任何位置都可以显示评论、箭头等注释符号。
  • ● 比例显示
    ● 可使用分段，在图像上显示比例宽度。
  • ● 栅格显示
    ● 图像上可显示水平和垂直栅格。
  • ● 缩略图显示
    ● 图像可以以缩略图的形式存储和调用，stage坐标等图像信息也可显示。
  • ● 分屏显示
    ● 图案影像、发射图像、叠加图像以及参考图像可一次显示在4个窗口的屏幕上。


详细参数
尺寸/重量Main unit: 1340 mm (W)×1200 mm (D)×2110 mm (H), Approx. 1500 kg
Control rack: 880 mm (W)×820 mm (D)×1542 mm (H), Approx. 150 kg
Operation desk: 1000 mm (W)×800 mm (D)×700 mm (H), Approx. 45 kg
供电电压AC200 V (50 Hz/60 Hz)
功耗Approx. 1400 VA (Max. 3300 VA)
真空Approx. 80 kPa or more
气压
0.5 MPa to 0.7 MPa

* iPHEMOS-MP主体机台包括探针台和其他相连接的装置。

相关下载

Failure Analysis Systems Option: InSbHS camera C9985-05 [668 KB/PDF]

Failure Analysis Systems Option: Thermal NanoLens [351 KB/PDF]

Failure Analysis Systems Option: NanoLens-SHR [635 KB/PDF]

C10506-04-16Failure Analysis Systems Option: Electro Optical Probing Unit [406 KB/PDF]


PHEMOS-1000是一款高分辨率的微光显微镜，通过检测半导体缺陷引起的微弱的光发射和热发射来准确定位半导体器件的失效位置。由于PHEMOS-1000可以与通用探针台组合使用，您可以使用已经熟悉的样本进行各种分析任务。通过加载一个可选配的激光扫描系统可以获得高分辨率的图像。使用不同类型的探测器可以用来实现各种分析技术，比如光发射分析、热分析、红外-光致阻值改变（IR-OBIRCH）分析等。PHEMOS-1000支持从Probe card到300mm大尺寸晶圆的多种任务和应用范围。


28PHEMOS-1000 微光显微镜 C11222-16产品样册
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