| 型号 | C11011-01 |
| 可测膜厚范围（玻璃） | 25 μm to 2200 μm*1 |
| 光源 | Infrared LD （1300 nm) |
| 光斑尺寸 | Approx. φ60 μm*4 |
| 工作距离 | 155 mm*4 |
| 可测层数 | 1-layer |
| 分析 | Peak detection |
| 测量时间 | 16.7 ms/point*5 |
| 外部控制功能 | RS-232C, PIPE |
| 电源 | AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | Approx. 50 VA |
| 接口 | USB 2.0 (Main unit - Computer) |
| 可测膜厚范围（硅） | 10 μm to 900 μm*2 |
| 测量可重复性（硅） | 100 nm*3 |
| 测量准确度（硅） | < 500 μm: ±0.5 μm, > 500 μm: ±0.1 %*3 |
*1：与玻璃折射率相同
*2：与硅折射率相同
*3：测量硅时的标准偏差
*4：可选配1000mm工作距离的模型C11011-01WL
*5：最短曝光时间
● 利用红外光度测定进行非透明样品测量
● 测量速度高达60 Hz
● 测量带图纹晶圆和带保护膜的晶圆
● 长工作距离
● Mapping功能
● 可外部控制
●可测量层数：1层
● 玻璃膜厚测量范围：25 μm～2200 μm
C11011-01型光学微米膜厚测量仪利用激光相干度量学原理，测量速度达60Hz，适用于产品线上在线测量。此外，与mapping工作台联用可以测量指定样品的厚度分布。C11011-01应用广泛，比如用于产品制造过程监控或质量控制。
C11011-01可测玻璃膜厚范围分别为25 μm 到2200 μm 和 10 μm 到 900 μm.
滨松光子学商贸（中国）有限公司
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