| 型号 | C10323-02E |
| 可测膜厚范围（玻璃） | 20 nm to 50 μm① |
| 测量可重复性（玻璃） | 0.02 nm② |
| 测量准确性（玻璃） | ±0.4 %③ |
| 光源 | Halogen light source |
| 光斑尺寸 | φ8 μm to φ80 μm④ |
| 工作距离 | Refer to objective lens list |
| 可测层数 | Max. 10 layers |
| 分析 | FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis |
| 外部控制功能 | RS-232C, PIPE, Ethernet |
| 电源 | AC200 V to AC240 V , 50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | Approx. 250 VA |
| 测量波长范围 | 400 nm to 1100 nm |
| 接口 | USB 2.0 |
*1：转换时玻璃的折射率是1.5
*2：测量400 nm玻璃薄膜厚度时为标准偏差（公差）
*3：取决于光学系统或物镜放大倍数
*4：测量保证范围同VLSI标准测量保证文件一致
● 可在微观层面进行测量
● 高速、高准确度
● 分析光学常量(n, k)
● 可外部控制
C10323型光学纳米膜厚测量系统是一款微观厚度测量系统。 在宏观层面上无法测量具有不规则表面的物体，因为这些物体会产生高强度的散射光。 对于这些类型的物体，测量小面积可减少散射光，从而实现测量。
C10323-02E的电源电压为AC100 V至AC120 V。
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