| 型号 | C11011-21 |
| 可测膜厚范围（玻璃） | 25 μm to 2200 μm*1 |
| 光源 | Infrared LD （1300 nm) |
| 光斑尺寸 | Approx. φ60 μm*4 |
| 工作距离 | 155 mm*4 |
| 可测层数 | Max. 10 layers |
| 分析 | Peak detection |
| 测量时间 | 16.7 ms/point*5 |
| 外部控制功能 | RS-232C, Ethernet |
| 电源 | AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | Approx. 50 VA |
| 接口 | USB 2.0 (Main unit - Computer) |
| 可测膜厚范围（硅） | 10 μm to 900 μm*2 |
| 测量可重复性（硅） | 100 nm*3 |
| 测量准确度（硅） | < 500 μm: ±0.5 μm, > 500 μm: ±0.1 %*3 |
* 1：玻璃折射率相同。
* 2：硅折射率相同。
* 3：测量硅时为标准偏差。
* 4：可选1000毫米工作距离的型号。 （型号C11011-01WL）
* 5：最短曝光时间。
● 利用红外光度测定进行非透明样品测量
● 测量膜厚度范围（玻璃）：25μm-2200μm
● 测量速度高达60 Hz
● 可测量层数：10层
● 测量带图纹晶圆或带保护膜的晶圆
● 工作距离长
● Mapping功能
● 可外部控制
C11011-21型光学微米膜厚测量仪利用激光干涉法原理，测量速度达60Hz，适用于产品在线测量。此外，选配的作图系统可以用于测量指定样品的厚度分布。C11011-01W应用广泛，比如用于产品制造过程监控或质量控制。
C11011-21可测玻璃膜厚范围分别为25 μm 到2200 μm 和10 μm 到 900 μm，可测层数zui多为10层。
滨松光子学商贸（中国）有限公司
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