| 像素间距 | 12.5 μm |
| 输入信号 | Digital Video Interface (DVI-D) |
| DVI 信号格式 | SVGA (800 x 600 pixels) |
| DVI 帧速率 | 60 Hz |
| 输入阶数 | 256 (8 bits) levels |
| 有效面积 | 9.9 x 7.5 mm |
| 空间分辨率（最大值） | 40 lp/mm |
| 填充因子 | 96 % |
| 上升时间 | 25 ms |
| 下降时间 | 80 ms |
| 读出光波长 | 1050 ± 50 nm |
| 光转换效率 | 97 % |
| 输入电压 (交流) | 100 to 230 (50Hz / 60Hz) V |
| 功耗 | 50 VA |
| 重量 (带电缆的主控制单元) | Approx. 4200 g |
| 测量条件 | λ=1064 nm |
X13267系列器件是基于硅基液晶(LCOS)技术的反射型纯相位空间光调制器(SLM)，可以调制光束波前。其中LCOS技术的液晶(LC)由直流电压进行精确调控。LCOS-SLM经过精心设计，从各种角度实现高光利用率，例如反射率，孔径比和像素结构引起的衍射噪声等。X13267系列可通过PC使用数字视频接口（DVI）进行控制，这是计算机显示器的标准接口。
*-03WL/-03WR型是水冷型，内置水冷散热片，可提高对于高功率入射激光的承受能力。水冷型包含WL或WR（其中WL和WR分别表示左右水流连接器的位置是位于左侧还是右侧）。
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