国内首台|搭配OT-193℃相机的Z新款微光显微镜，完成了！

图1滨松Z新款iPHEMOS-MPX

滨松推出Z新款Solid InGaAs Camera，采用独特的帕尔贴制冷技术，将工作温度降低至惊人的-193℃，解决了液氮制冷使用成本高、维护复杂以及液氮泄露风险等问题。随着制冷温度的进一步降低，InGaAs相机的暗电流大大减小，降低了噪音，大大提高信噪比，实现更灵敏的热点抓取。

图2 Solid InGaAs Camera产品展示

这款相机专为先进制程的晶圆厂客户设计，目前仅可安装在iPHEMOS-MPX。

图3 Solid InGaAs Camera工作温度低至-193℃

滨松设计的Z新款半自动探针台以其超凡性能为客户提供三种样品扎针方式：方卡、圆卡、探针座，助客户实现probe card或manipulator的逐个die或者任意die的上下针测试。

不仅如此，这款探针台能够匹配12寸或8寸晶圆尺寸，轻松满足新老设备的需求。而其XY轴重复精度±3μm，确保样品稳定上下针，且震动极小。这不仅提高了测试效率，更能保证测试结果的准确性。

未来，通过与sequencer软件和其他辅助设备相结合，我们有望实现客户生产的每一片晶圆内任意一颗die的抽检或全检，从而将传统的离线机台转变为高效的在线机台。这一创新将极大地提高晶圆厂的良品率，并为工艺改善开辟新的道路。

滨松的微光显微镜，历经30年的研发与生产积淀，以其卓越的稳定性和超高的侦测灵敏度，赢得了全球用户的信赖。我们的机台远销世界各地，见证了滨松的卓越品质。我们始终与全球顶尖的半导体制造厂家紧密合作，共同开发前沿产品，致力于满足国内外客户的多样化需求。滨松，与您共同开启智能制造的新篇章。

编辑：又又&▼