资料简介: | |
倒置发射显微镜是一款背面分析系统,用于侦测和识别半导体器件上的光发射和热发射。 样品可以轻松地安装到探针卡上面实施点针,信号从器件背面侦测。平台下方可以选配多款不同种类的探测器和激光,使之完成多种探测方式。例如光发射和热发射分析,近红外-光束诱导电阻阻值变化分析,和一些其他的分析方式完成动态分析,满足客户需求。 Iphemos-DD将样品直接连接到测试机上,再把测试机架装到设备上方能够有效减少线缆长度,这使得高频驱动样品的分析成为可能,这种直接架装方式可用于点针侦测12英寸晶片,也可用来侦测封装好的样品。 |
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