热解氮化硼坩埚
热解氮化硼(PBN)是特种陶瓷材料,是本公司在特殊设备上用化学气相沉积的工艺制得的。热解氮化硼的沉积过程,宛如“落雪”:氮化硼的六角型小雪片,一片一片的平行地落在石墨基体材料上,达到一定厚度后,冷却脱模而制成。
主要特点:
● 产品颜色在牙白至橙棕,无毒、无孔隙、易加工。
● 纯度高达99.99%,表面致密,气密性好。
● 耐高温,强度随温度升高,2200℃达到最大值。
● 耐酸、碱、盐及有机试剂,高温与绝大多数熔融金属、半导体等材料不湿润、不反应。
● 抗热震性好,热导性好,热膨胀系数低。
● 电阻高,介电强度高,介电常数小,磁损耗角正切低,并具有良好的透微波和红外线性能。
● 在力学、热学、电学等等性能上有着明显的各向异性。
产品应用
1.半导体单晶及III-V族化合物合成用的坩埚、基座:原位合成GaAs 、InP 、GaP单晶的LEC系列坩埚。分子束外延用的MBE系列坩埚。 VGF、VB法系列坩埚。
2.电子束源用的系列坩埚,金属熔炼蒸发坩埚等
3.石英坩埚及舟皿等石墨器具上的涂层,MOCVD绝缘板。
上海昭沅仪器设备有限公司
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