布鲁克3D白光干涉显微镜

参数规格：

最大扫描量程： 10mm

垂直分辨率: <0.01nm

RMS 重复性 (PSI) : 0.01nm

台阶高度准确性: 0.75%

台阶高度重复性: <0.1% 1sigma repeatability

最大坡度 光滑面: 可达 40°

最大坡度 粗糙面: Up to 87°

光学测量模块: 双LED（ZG）照明,单筒物镜或转塔，单个放大镜或自动转动放大镜

物镜: 同焦面: 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 115x

长工作距离: 1x, 1.5x, 2x, 10x

TTM: 2x, 5x, 10x, 20x

明场: 5x, 10x, 20x, 50x

放大镜: 0.55x, 0.75x, 1x, 1.5x, 2x

校准: 可溯源的台阶高度标准样

软件系统: 基于Windows 7 64 位操作系统的Vision64 分析软件

价格面议，联系人：姚迪 先生

电话：135 1085 3931