电子厂烟气监测系统

电子制造工业中，对烟囱排放的氯化物、氟化物、苯系物等气体监测非常重要，OPSIS 拥有专为电子厂这种环境而设计的连续排放监测系统。为了提高在全世界许多应用场所的可靠性和运转性能，OPSIS可以满足电子芯片制造业多样化的需求。采用DOAS (差分吸收光谱法)的Opsis系统是一条开放式光径，无须接触被监测气体的监测系统，就不会受废气排放过程中的气体、高温和微粒的影响。一套系统可以实时在线地监测用户指定的一系列物质， OPSIS系统具有高准确性、高可靠性和很强的数据采集处理能力。OPSIS同样可以满足过程控制对响应速度的要求。
　　一套OPSIS 系统可以监测多种物质。通常监测的气体，诸如为了符合电子厂的某些特别需求，监测HCL、HF、CL2、苯、甲苯、二甲苯、……

应用原理：差分吸收光谱法（DOAS）
系统结构：

监测项目：

序号	监测项目	分析方法	供应厂商
1	HCL	DOAS	瑞典 OPSIS
2	HF	DOAS	瑞典 OPSIS
3	CL2	DOAS	瑞典 OPSIS
4	苯	DOAS	瑞典 OPSIS
5	甲苯	DOAS	瑞典 OPSIS
6	二甲苯	DOAS	瑞典 OPSIS
7	……

技术特点：

• 无需抽取采样，不改变工况条件，在线实时连续测量
• TV，MCERTS 等国际认证
• 烟道光路上平均浓度，代表性强
• 多气体，多光路技术（反应时间快）
• 使用寿命长，维护量小，运营成本低（**耗件氙灯）
• 一年只需要校准 1-2 次
• 技术成熟，应用范围广

主要设备：

DOAS 分析仪	DOAS 接收/发射端

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环境空气苯系物在线监测系统，可参见“苯系物气体在线监测系统”