详细信息
可对应各种选配，膜厚的特制解析
椭圆偏振光测量仪FE5000应用范围 - FPD LCD,PDP,FED,有机El
- 半导体 a-Si，poly-Si，其他
- 复合半导体 半导体激光，强电介质
- 数据储存 DVD,HDD,磁气头
- 光学材料 膜，防放射膜
- 膜 AR膜
FE-5000S
FE-5000的基础上追加了FE-5000S系列。FE-5000S虽然和FE-5000有相同的基本功能，但是价格低，省空间。光谱椭偏仪的用途也得到扩大。
功能进一步展开的光谱椭圆偏振光测量仪FE5000高速高精度
材料表面光学常数（n.k）的测量 [膜厚，光学定数 (n:折射率、K：消光系数)、椭圆偏光仪（tanψ、cosΔ）] 通过400ch以上的多通道光谱法，迅速测量椭圆光谱 - 可实现一分钟以内的高速测量
- 光谱点多，所以坡度大的椭圆光谱也可正确测量
利用多波长光谱仪实现高精度高感度测量
测量反射角度可变，对应薄膜的高精度解析
可对应特制解析的材料物性和多层膜等的高度评价 - 利用有效媒质近似（EMA）可测量复素折射率的波长分散，混合结晶的混合比，界面的厚度等。
- 利用各种光学常数函数和膜model解析，可对应薄膜界面等的材料物性评价
- 利用多层膜fitting解析的光学常数测量实现了膜厚膜质管理
- 通过光学常数数据基础化和菜单登陆功能，改善了操作性
产品优势
通过自动多角度椭圆偏振光测量仪实现高速的薄膜膜厚测量和高精度的光学常数解析
技术资料
热线电话
在线咨询
长按识别二维码查看信息详情