北京先锋泰坦科技有限公司
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PSEL劳厄单晶取向测试系统

PSEL劳厄单晶取向测试系统：
• PSEL 软件定向误差低至 0.05 度；
• 多晶硅片二维定向mapping；
• 大批量样品筛选；
• 超20kg 重负荷样品定位
• 超大行程样品台可选，用于“燃机叶片”等测试；
• 工厂接收客户需求定制
水平放置系统

特征 优点
<200um 光束尺寸 可测量小 晶体
电动位移台 可沿生长轴轴向扫描
电动角位移 与同步加速器/中子设备直接兼容
手动角位移 与切割刀具直接兼容
垂直放置系统

特征 优点
<200um 光斑 适用于小晶粒的多晶结构
大范围电动线性扫描位移台 允许自动晶圆mapping或多个样品
电动Z 轴驱动 适用大尺寸晶棒或样品
手动角位移 允许定位到+/- 0.02度精度
配备PSEL CCD 背反射劳厄X-RAY 探测器：
• 有效输入探测面约： 155*105 mm

• 最小输入有效像素尺寸83um，1867*1265 像素阵列
• 可选曝光时间从1ms 到35 分钟
• 芯片上像素叠加允许以牺牲分辨率为代价增强灵敏度
• 自动背景扣除模式
• 16 位高精度采集模式
• 12 位快速预览模式
• PSEL 劳厄影像采集处理专业软件

劳厄影像校准软件：
• 自动检测衍射斑点，并根据参考晶体计算斑点位置；
• 根据测角仪和晶体轴自动计算定向误差( 不需要手动拟合扭曲的图形)
• 以CSV 格式保存角度测量值，以进一步保证质量的可追溯性；
• 顶部到底部的终端用户菜单，允许ZS结晶学用户自行逐步确认定位程序；
• 基于Python 的软件，允许使用套接字命令对现有软件/ 系统进行远程访问控制；
系统附件包括：
• 劳厄X-RAY 探测器
• 劳厄校准软件
• 高亮度X-RAY 发生器
• 电动/ 手动 角位移台& 高精度位移台；
• 样本定位/ 视频监控 摄像头；
• 激光距离传感器/ 操纵杆
PSEL劳厄单晶取向测试系统应用方向：

• 探测器材料： HgCdTe/CdTe, InGaAs, InSb;
• 窗口玻璃材料& 压电/ 铁电陶瓷： Al2O3,Quantz，LiNbO3
• 金属合金： 钨，钼，镍基合金；
• 激光晶体材料： YAG, KTP, GaAs
• 薄膜/ 半导体基地材料： AIN, InP SiC;

• 燃气轮机叶片；硅基，镍合金
• 磁性& 超导材料: BCO/BSCCO/HBCCO, FeSe， NbSn/NbTi
• 闪烁体材料： BGO/LYSO, CdWO4,BaF2/CaF2;
典型劳厄衍射应用图样：


系统附件包括：
• 劳厄X-RAY 探测器
• 劳厄校准软件
• 高亮度X-RAY 发生器
2PSEL-EN
2PSEL

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