动态干涉仪Kaleo-Multiwave

光路结构

双通路测试

测量能力

反射波前面型测量，透射元件波差测量

光源

标准：1/2 路工作波长，ZG可集成 8 路波长

波长选择

193nm ~ 14 m，如 266、355、405，550、625、780、

940、1050nm，红外 1.55、2、3.39、10.6 m 等

有效口径

5.1”，130mm

光学中心高度

108mm

对准功能

实时相位 / 泽尼克多项式显示

视场角对准范围

±2°

可调对焦范围

±2.5m

使用环境

无需隔振

RMS 可重复性

<0.7 nm

测量精度

80nm p-v

动态范围（离焦值）

500 条纹 (SFE = 150 m）

可测反射率范围

4% ~ 100%