详细信息
德国ATL Lasertech 公司专业生产小型化、高重频、短脉冲准分子激光器。 主要应用于：
• 眼科手术
• 玻璃及塑料微加工
• 微制造
• 激光剥蚀
• TOF 质谱
• FBG 刻写
ATL 提供ATLEX、专用于FBG 刻写的ATLEX-FBG 系列，低负荷的ATLEX-LR 系列，以及非常紧凑的ATLEX-S 系列。
产品采用一系列独到的设计以满足工业级应用需求：
• 软电晕预电离
• 全固态高压脉冲发生器
• 激光头容积 < 3L
• 全金属- 陶瓷管路
• 集成真空泵及卤素过滤器
• 全风冷，主动热管理
• RS485，RS232，USB 以及光纤接口
• 可冲洗光具座
• 能量稳定模式
ATLEX-LR 系列准分子激光器
ATLEX-LR 系列适合低负荷使用，专门为激光剥蚀(Laser Ablation) 设计。激光为193nm 输出优化，同时具有非常快的上升沿和高峰值功率。
| 增益介质 | ArF |
| 波长 (nm) | 193 |
| 高压开关技术 | 固态开关 |
| ZG脉冲能量 (mJ) | 12 |
| 能量稳定选项输出 (mJ) | 10 |
| 脉冲宽度 (ns) | 5 |
| 光束尺寸 (mm) | 4×6 |
| 光束发散角 (mrad) | 1×2 |
| 能量稳定性 (rms) | 3% |
| 外形尺寸 (mm, L×W×H) | 540×470×300 |
产品优势
ATL 提供ATLEX、专用于FBG 刻写的ATLEX-FBG 系列，低负荷的ATLEX-LR 系列，以及非常紧凑的ATLEX-S 系列。
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