北京先锋泰坦科技有限公司
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准分子激光器ATLEX-S系列

德国ATL Lasertech 公司专业生产小型化、高重频、短脉冲准分子激光器。
主要应用于：
• 眼科手术
• 玻璃及塑料微加工
• 微制造
• 激光剥蚀
• TOF 质谱
• FBG 刻写
ATL 提供ATLEX、专用于FBG 刻写的ATLEX-FBG 系列，低负荷的ATLEX-LR 系列，以及非常紧凑的ATLEX-S 系列。
产品采用一系列独到的设计以满足工业级应用需求：
• 软电晕预电离
• 全固态高压脉冲发生器
• 激光头容积 < 3L
• 全金属- 陶瓷管路
• 集成真空泵及卤素过滤器
• 全风冷，主动热管理
• RS485，RS232，USB 以及光纤接口
• 可冲洗光具座
• 能量稳定模式
ATLEX-S 系列准分子激光器

ATLEX-S 具备更小的尺寸，适合低- 中负荷的应用。

增益介质

ArF

KrF

波长 (nm)

193

248

高压开关技术

固态开关

ZG脉冲能量 (mJ)

10

15

ZG平均功率 (W)

2.4

4.0

4

6

ZG重频 (Hz)

300

500

300

500

脉冲宽度 (ns)

5 - 8

光束尺寸 (mm)

4×6

光束发散角 (mrad)

1×2

能量稳定性 (rms)

3%

外形尺寸 (mm, L×W×H)

630×400×300
ATL 提供ATLEX、专用于FBG 刻写的ATLEX-FBG 系列，低负荷的ATLEX-LR 系列，以及非常紧凑的ATLEX-S 系列。
3ATLEX-S系列
0ATLEX-S-EN
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