准分子激光器ATLEX-FBG

增益介质

ArF

KrF

波长 (nm)

193

248

高压开关技术

固态开关

ZG脉冲能量 (mJ)

10

15

空间相干性 ( 光斑竖直方向 )( m)

>300

ZG平均功率 (W)

ATLEX-300-I

2.4

4.0

ATLEX-500-I

4.0

6.5

ZG重频 (Hz)

ATLEX-300-I

300

ATLEX-500-I

500

脉冲宽度 (ns)

5 - 8

光束尺寸 (mm)

4×6

光束发散角 (mrad)

1×2

能量稳定性 (rms)

3%

外形尺寸 (mm, L×W×H)

540×470×300