拉曼光谱和原子力显微镜联用

仪器简介：

NTEGRA Spectra
是一款独特的集成了扫描探针显微镜、激光共聚焦/荧光显微镜和拉曼光谱仪的系统。其强大的TERS效应，可在得到拉曼光谱的同时获得高达50nm的成像分辨率。
只有NTEGRA Spectra能在软件、硬件等技术方面为集成Renishaw的拉曼光谱系统提供wan美的方案，以便用户能在分子水平上用不同的技术手段来分析、研究样品。这样的集成，能让用户极大的提高工作效率，将更多的时间用于数据采集和分析，而无需为繁琐的仪器操作而苦恼。所以，可以负责任的说：真正的集成是远远优于简单的组合的。

激光共聚焦显微镜/拉曼光谱仪系统
NTEGRA Spectra 系统集成了激光扫描共焦光谱仪、光学显微镜和常规的扫描探针显微镜。该系统能用于发光光谱和拉曼散射的三维成像、所有的SPM功能，包括纳米压痕、纳米加工和纳米刻蚀等。.

扫描探针显微镜
除了光学检测外，NTEGRA Spectra还可使用SPM的方法来研究样品，诸如：AFM、MFM、STM、SNOM、力谱等等。这样独特的集成了光学方法和扫描探针方法合二为一的系统，为用户完成复杂的实验变成可能，用户可从实验中得到样品的光学分布信息、化学性质、力学性质、电学性质和磁学性质等。

用超越激光衍射极限的系统来研究样品
NTEGRASpectra 在检测样品时，能提供超越激光光学衍射的光学分辨率。近场光学显微镜和TERS系统能让用户得到光学性质分布图（激光传输、散射和偏振等）的同时获得拉曼散射光谱和高达50nm的XY方向分辨率。

技术参数：

共聚焦显微镜
光学模块 正置或倒置光学显微镜观测系统
可见光谱测量(390-800nm)
激发光路中配置手动式格兰-泰勒起偏棱镜390-1000nm
检测光路中配置电动式格兰-泰勒检偏棱镜390-1000nm
三轴定位电动式1/2波片
光束分离器
可选配倏逝激发系统（用于TERS）
光学分辨率 XY：200nm
Z：500nm
扫描模块 最大样品质量：1000g
最大扫描范围：100x100x25 um
XYZ三维全量程闭环控制扫描系统
XY方向非线性度：0.03 % （典型值）
Z方向噪音水平：<0.2 nm （典型值）
XY方向噪音水平：<0.5 nm（典型值）
共聚焦针孔直径0~1.5mm可调，步进0.5 um
注：无论样品是否透明，都可用我们的共聚焦显微镜在空气或液体环境中对其进行研究。

拉曼光谱仪
光谱仪焦长520 mm
激光器波长*441, 488, 514, 532, 633 nm
杂散光YZ10^-5，（20nm 用632nm激光器 ）
平场面积28 mm x 10 mm
光谱分辨率0.025 nm (1200 l/mm光栅**)
端口1输入，2输出
光栅座4孔转盘（3 个光栅+“直接成像”模式用的反射镜）
探测器CCD：光谱响应范围：2001000 nm，电冷装置冷却至80°C，500nm时95% 量子效率
用于光子计数的APD***：光谱相应范围：4001000 nm，暗计数=25/秒，提供高达1GHz计算速度的PCI卡。 * 标准配置中包括一套488 nm激光器，其他波长激光器可选配
** 可选配其他光栅。小阶梯光栅具有最高的光谱分辨率
***可选用PMT

扫描近场光学显微镜
功能模式：剪切力成像/SNOM反射模式，透射模式，荧光模式（选配）
激光模块耦合装置：X-Y-Z 定位器，定位精度1 um
V型槽光纤固定器
装配40x物镜
光纤传输系统 KineFlex^TM
光束衰减器：可配多种减光镜
剪切力成像 样品尺寸：最大直径100mm，最大厚度15mm
XY二维样品移动平台：样品定位范围5x5mm，样品定位精度5um
XYZ三维全量程闭环控制扫描系统
样品扫描式 针尖扫描式
扫描范围 100x100x25 um 100x100x7 um
非线性度 XY 0.03 %（典型值）<0.15%
噪音水平 Z <0.2 nm（典型值）0.04nm（典型值），<=0.06nm
噪音水平 XY <0.5 nm（典型值）0.2 nm（典型值），<=0.3 nm
石英音叉基频 190 kHz
光纤孔径 <100nm
可同时采集的数据通道反射模式
透射模式/荧光模式
PMT 光谱响应范围：185-850 nm
灵敏度：3x10¹⁰，420 nm时
隔振系统 主动式：0.7-1000 Hz
被动式：大于1 kHz

扫描探针显微镜
功能模式：AFM（接触+半接触+非接触）/侧向力模式/相位成像模式/力调制模式/粘滞力成像/磁力显微镜/静电力显微镜/扫描电容显微镜/扫描开尔文探针显微镜/扩展电阻成像模式/刻蚀：AFM（力和电流）
样品尺寸*最大直径100mm，最大厚度15mm
扫描范围50x50x5 um
闭环控制系统**XYZ三维全量程闭环控制扫描系统，采用电容传感器
非线性度 XY <0.15%
噪音水平Z 0.06 nm（典型值），<=0.07nm
噪音水平 XY 0.1 nm（典型值），<=0.2 nm (XY 50 um)
*扫描头部可单独使用，此时对样品尺寸和重量无限制
**内置的电容传感器拥有极低的噪音水平，即使降到50x50 nm的区域也可以用闭环控制来扫描

主要特点：

AFM探针和激光光斑wan美的同步协调。AFM探针可在纳米级的精度上定位于激光光斑中在TERS中，这是必要的条件。在激光扫描和样品扫描的6个轴中，全部采用全量程闭环控制系统。
高数值孔径的光学物镜和SPM系统紧密的集成在一起，让系统的光学稳定性达到前所未有的高度为长程和微弱的信号而设计。
反射模式的激光光路可用于激光共聚焦成像。
电冷至-70°C的CCD，用于光谱探测和成像。
也可选用APD来进行光子计数。
在激发通道和检测通道中，用户可灵活方便的配置偏光光路。
多功能的集成软件控制系统，所有的系统模块包括AFM、光路系统和机械系统都由统一的软件来控制。激光器、光栅、针孔等等，都可由软件来切换或调节。
NT-MDT可根据用户需求定制不同使用需求的TERS系统。