XO-DLZ-1000W微波等离子体材料反应系统

制造商：南京先欧仪器制造有限公司

XO-DLZ-1000W微波等离子体材料反应系统

简介：科学研究表明微波等离子体具有无电极、大面（体）积、低能耗、GX率和低成本等多种优点，比之其它电激励类型的等离子体有更高的活性。微波等离子体的运行气压很宽，从10-3Pa（微波ECR等离子体）到超过大气压（微波等离子体炬）。并且装置的等离子体发生室和处理室可分可合，工艺的灵活性大。无电极放电避免了等离子体对处理物的损伤。

所以微波等离子体有着广泛的应用，特别适用于新材料（包括薄膜，纤维，粉末以及高性能复合材料等）的制备，金属制品的表面强化和防腐蚀，纺织品的后整理，高聚物聚合及其表面改性，微电子器件及高功率电子器件和光电子器件的制造，纳米材料的制备和器件的开发，GX照明光源和紫外光源的开发，有毒有害气体的分解净化及其它三废处理等多个工业技术领域。例如微电子器件的等离子体加工工艺绝大部分都是用微波等离子体设备来实现的。光学级和微电子级的金刚石薄膜通常也是用微波等离子体化学气相沉积工艺来制备的。光纤的制造和平面光波导器件加工也是用微波等离子体技术来实现的。等等。微波等离子体在高技术产品的等离子体加工技术中将越来越起到主导作用。

参数表：

1、等离子体发生室与样品处理室分开，均为不锈钢腔体。

2、样品处理室ф262（内径）×165（高），左、右侧及前门上各有一个（共3个）ф90观察窗，样品装卸门146（宽）×68（高），内有ф120（直径）水平样品台，样品台面离样品处理室底面高度两级可调节27-57-87。

3、等离子体发生室ф144（内径）×96（高）处于样品处理室之上。

4、两路气体输入，在等离子体发生室顶部中心输入工作气体，可用氮气、氧气、氦气等常用气体。

5、微波发生器由带有水冷磁控管的激励腔和微波源供电电源组成。微波频率2.45GHz。

6、微波功率0－1000W连续可调。带有微波输出功率显示（精确至1W）和数字指示。可长时间连续工作。

7、装置常规采用380V三相电源。

8、自带冷却水循环系统形成冷却水.制冷系统可保证冷却水温度在30度以下,无水源要求.

9、真空度数字显示，精确至1Pa。

10、气体流量在较大范围可调并显示（精确至0.01L/min）。

11、无电极放电，避免放电污染，能量转换效率高。