扫描电镜的电子枪的选择

（1）现代SEM要求分辨率为纳米级别，高电流，小探针大小，有效的低电压操作 （2）这些需求使钨灯丝电子枪SEM无法跻身于高端SEM行列 （3）因此现在所有高性能SEM，都采用一些更先进的电子发射源形式 （4）钨灯丝电镜的价格仍然较便宜，并能满足多种应用需求 蔡司SIGMA 300场发射扫描电镜 蔡司SIGMA 500高分辨率场发射扫描电镜 蔡司GeminiSEM 300/VP超高分辨率场发射扫描电镜 钨灯丝系列扫描电镜 EVO MA 10/LS 10 蔡司（ZEISS） EVO 18钨灯丝系列扫描电镜