Gatan Monarc 阴极荧光系统

性能优点
快速获取高质量数据
• 以优异的空间分辨率（<10 nm="" 1="" br="">（0.1 nm）采集 CL 数据
• 采集同时具有角度和波长分辨能力的 CL 数据
• 相较前代技术，以高达30倍的更快速度采集超光谱
（hyperspectral）数据

操作简便

• 通过全自动的光路对准和基于配方驱动的操作，得到优化的结果

• 恒常对准的光路为短期与长期工作带来可重复的结果

• 大视野提高数据采集通量，并简化用户的工作流程

与其它信号的精确关联

• 同时侦测多种信号，对物理性质或成分信息与CL数据进行关联成像

• 不需折衷妥协——在进行CL测量的同时，充分利用 SEM 的 in-lens探头

图 1. 该幅偏振过滤的 CL 图像证明了 Monarc 能够提供空间分辨率优于10 nm 的 CL 数据。图像来自尺寸在 100 nm 左右的星状金纳米颗粒两组正交线性偏振发光的颜色叠加。

特色功能

• 角度分辨（angle-resolved CL，ARCL）：在远低于光学衍射极限的尺度上理解光与物质的交互作用——相较前代技术，400x 更大视野，且不产生实际分辨率损失（ZG申请中）

• 波长-角度分辨（wavelength- and angle-resolved CL, WARCL）：跨越多重观察角度与波长，对光与物质的交互作用进行可视化——归功于独特的光路设计，以前无法做到或非常难以实现的表征手段，在 Monarc 上成为常规工作

• 偏振过滤：获知例如光波段担任纳米天线、光子晶体等深度次波长结构的发光偏振性能

应用领域
• 光电材料研发

• LED 和激光失效分析

• 显示与照明

• 光-物质交互作用基础研究

• 纳米光子学

• 光子晶体

• 地质科学-痕量元素分布

• 光伏材料表征

• 荧光技术

Monarc 配备两种不同型号，满足不同应用需求：

Monarc
适合于地质科学与面分布成像应用，Monarc 型号拥有不受谱分辨率影响的更大视野，并通过其新颖的波长过滤谱成像能力，提供更高空间采样的超光谱数据采集，性能大大超越基于前代技术的 SEM CL 探测器。

Monarc Pro
对于纳米光子学与光电子材料应用，Monarc Pro 更为适用，由于其提供了更高的灵敏度与谱分辨率；并具备特有的波长-角度分辨分析能力以及偏振过滤选项。

图 2. 使用 Monarc 对含有 V-pit 缺陷的GaN/InGaN多重量子阱样品采集获得的复合波长过滤像，提取自超光谱数据块 (红色 = 504 ± 2 nm, 绿色 = 435 ± 2 nm, 紫色 = 365 ± 2 nm)。

​图 3. 运用 Monarc 特有的波长-角度分辨采谱模式，对薄膜 InGaN基 LED 发光性能近乎完整的表征。发射光与反射光之间相互干涉形成了随着发光波长而变化的发射图样。