技术参数:重量:10 Kg尺寸:420 mm (W)x220 mm (D)x230 mm (H)(长,宽,高)靶材尺寸:50mm样品室内径:100mm靶材类型:Au/Pt(标配Au)操作真空:0.1 Torr(托)较大加速电压:3KV离子电流: 0 ~ 9 mA
北京欧波同光学技术有限公司
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