氩离子抛光制样经验分享

2021-01-061970

微纳米颗粒（针对200μm以下样品）

应用范围：微纳米材料内部结构分析

例如：锂电池阳极材料、微纳米颗粒

颗粒类的样品多数利用扫描电镜检测形貌、粒度统计、能谱并做一些长度测量，但是一旦涉及内部结构观察普通制样方式很难达到要求。

制样方式	缺点
研钵研磨/刀片压碎	只能看到断面的情况，而且成功率不高，电镜观察需要费时寻找
镶嵌包埋	需要机械抛光，容易脱落；耗时；需考虑镶嵌料对样品影响

举例来讲，图1是客户要求观察颗粒表面和断面形貌，研钵研磨后，结果并不理想，视野内可见大量碎裂颗粒，且断面情况各异更无法进行测量等工作。

图 1

图2是用Gatan Ilion II设备抛光后结果，可见视野内颗粒全部切开，截面平整，易于观察测量；图3为局部放大，颗粒内部结构一览无余。

图 2

图 3

图 4

图 5

电子元器件

应用范围：各类微元器件

电子元器件由于其越来越微小、越来越复杂，其失效时很难定位，也很难用普通手段看清其内部结构（图6）。图中结果用Ilion II 进行处理，局部放大图片能够看到几十个nm结构，后续进行分析带来极大便利。

图 6

我们再来看一例（图7）

图 7

红框1局部放大，可见有10层结构

图 8

红框2局部放大，一目了然

图 9