KLA R-50方阻测试仪

KLA薄膜电阻测量技术方阻测试仪包括接触（4PP）和非接触（EC）方法。

Filmetrics的R50系列方块电阻测量仪器可测量沉积在各种基材上的导电片和薄膜，跨越10个数量级范围电阻率，包括：

半导体晶圆基板

玻璃基板

塑料（柔性）基材

PCB图案特征

太阳能电池

平板显示层和图案化特征

金属箔

二、方阻测试仪主要功能

l 技术规格

测量范围：5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;

测量精度： +/- 1%；

重复度： 小于 0.2%；

样品图中无*的测量点位，自定义测量Recipe，可线性、矩形、

极坐标以及自定义等。

三、应用

支持广泛的测量，包括但不限于以下各项：

金属膜厚度、基板厚度、方块电阻、电阻率、电导率、掺杂浓度等。