多用途等离子处理腔室_TEM & SEM样品清洁及贮存解决方案
通过选配外部附件如：EM-KLEEN远程控制等离子源和/或TEM样品杆适配器，多用途腔室可配置成不同的应用。EM-KLEEN远程等离子体源可以采用空气、氧气或氢气产生氧和氢自由基，用于样品清洁和表面活化。如果腔室配备了TEM样品杆适配器，则可接受和清洁来自Thermo Fisher、JEOL和Hitachi的共六个TEM样品杆，然后它还可以用作样品杆真空储存站。当然，EM-KLEEN等离子源也可被取下并安装到SEM、FIB或XPS等真空腔室上。
真空泵：采用无油分子泵工作站或涡卷泵
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