美国PIE出品的Tergeo等离子清洁仪

Tergeo Basic基本型等离子清洁仪

PIE Scientific专注研发先进的实验室用等离子仪器，用于SEM/TEM样品清洁、光刻胶蚀刻、等离子体增强沉积、表面处理与活化。我们的宗旨是：将半导体和核工程研究中开发的非常新等离子技术集成到经济实用的实验室用等离子仪器。

来自美国PIE Scientific出品的小型台式等离子清洁仪，可以用来清洁纳米级样品、蚀刻光刻胶、激活聚合物表面功能团、获得亲水或疏水性，增强粘合强度以及可印染性、促进医学器件生物相容性，Tergeo系统集成了常规的浸入式清洗模式和特有的远程清洗模式。

可用于煤的灰化。

特点：

1. 系统具有双等离子源。浸入式等离子源用于主动表面处理、光刻胶蚀刻。远程式等离子源用于温和的污染清除以及脆弱易损样品的表面活化

2. 13.56MHz高频射频发生器，

3. 7英寸触摸屏控制界面，全自动操作

4. 标配75W版本，可选150W版本

5. 标配2路气体输入，可选第三路气体输入

6. AC输入：通用(110~230V, 50/60Hz)

除了Tergeo Basic基本型等离子清洁仪，另有Tergeo Plus型大腔室等离子清洁仪和Tergeo EM型SEM & TEM样品清洁专用等离子清洁仪，欢迎选购！