南京覃思科技有限公司
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瑞士Safematic电镜制样设备CCU-010 HV_CT-010高真空热蒸发镀碳仪


紧凑型、模块化和智能化
CCU-010 HV_CT-010为一款结构紧凑、全自动型的热蒸发镀碳设备,使用非常简便。采用独特的插入式设计,变换镀膜头非常简单。在镀膜之前和/或之后,可以进行等离子处理(可选项)。模块化设计可轻松避免交叉污染。CCU-010标配膜厚监测装置。

特点和优点
✬高性能蒸发镀碳和可选等离子处理
✬专有的自动碳源卷送设计–多达数十次碳镀膜,无需用户干预
✬独特的即插即用蒸碳镀膜模块
✬yi流的真空性能和快速抽真空
✬结构紧凑、可靠且易于维修
✬双位置膜厚监控装置,可兼容不同尺寸的样品

巧妙的真空设计
CCU-010 HV系列高真空镀膜仪涵盖了zhui高级的SEM,TEM和薄膜应用。特别选择和设计的材料、表面和形状可大大缩短抽真空时间。两个附加的标准真空法兰允许连接第三方设备。

CT-010碳蒸发模块
紧凑的插入式碳蒸发模块为镀碳树立了新标杆。将该头插入CCU-010 HV镀膜主体后,即可立即使用,既适合EDS喷碳应用,更适合SEM、TEM和任何需要高质量碳膜应用的场合。CT-010使用欧洲专有的、独特且技术领先的碳绳卷轴系统,可以进行多达数十次涂层的镀膜,而无需更换碳源。一段碳绳蒸发后,新的一段会自动前进,用过的碳绳会掉落到方便的收集盘中。除了易于使用外,自动卷轴系统还允许在一个镀膜循环内可控地沉积几乎任何厚度的碳膜。易于选择的镀膜模式可保障镀膜安全,从对温度敏感的样品进行温和的蒸镀薄膜到在FIB应用中厚膜层的高功率闪蒸镀碳。整合脉冲蒸发、自动启动挡板后除气及膜厚监控的智能电源控制提供了精确的膜层厚度,并可避免火花引起的表面不均匀。

GD-010辉光放电模块
可选的GD-010辉光放电系统可快速安装,通过空气、氩气或其它专用气体进行表面处理,例如,使碳膜亲水。本机可按顺序进行碳镀膜和辉光放电处理,无需“破”真空或更换处理头,极大地简化了操作过程。本单元安装到CT-010,与所有样品台兼容。

ET-010等离子刻蚀单元
在对样品进行镀膜之前或镀膜之后,可选对样品进行等离子刻蚀处理。使用该附件,可以选择氩气、其它蚀刻气体或大气作为处理气体。这样可以在镀膜前清洁样品,增加薄膜的附着力。也可在样品镀碳后进行等离子处理,从而对碳膜表面进行改性。

Coating-LAB软件(可选)
使用基于PC的Coating-LAB软件,可查看包括图表信息在内的处理数据。数据包括压力、电流、电压、镀膜速率和膜厚,镀膜速率为实时曲线。便捷的软件升级和参数设置让此智能工具更为完mei。

RC-010手套箱应用的远程控制软件(可选)
◎基于window的远程控制软件
◎创建和调用配方
◎实时图表,包含导出功能(Excel、png等)
◎自动连接到设备

可选多种样品台
CCU-010系列喷金喷碳仪提供一个直径不小于60mm的样品台,该样品台插入到高度可调且可倾斜的样品台支架上。可选其它专用的旋转样品台、行星台、载玻片样品台等。

CCU-010 HV系列高真空镀膜仪及其版本
CCU-010 HV 系列高真空镀膜系统专为满足电镜样品制备领域及材料科学薄膜应用的zhui高要求而设计。CCU-010 HV 高真空镀碳仪采用优质组件和智能设计,可在超高分辨率应用中提供出色的结果。该设备是全自动抽真空和全自动操作,采用TFT 触摸屏,配方可编程,保证结果可重复。CCU-010 HV 标配抽真空系统完全无油,含高性能涡轮泵和前级隔膜泵,均位于内部,外部没有笨重的旋转泵和真空管路。这是一款尺寸合理的桌上型高真空镀膜仪。使用无油抽真空系统可将镀层中的污染或缺陷降至zhui低。关闭时,该设备可以保持在真空下,这有效地保护了系统免受灰尘和湿气的影响,并为高质量的镀层创造了快速抽真空和有利的真空条件。

CCU-010 HV系列高真空镀膜仪版本:CCU-010 HV高真空磁控离子溅射镀膜仪;CCU-010 HV高真空热蒸发镀碳仪;CCU-010 HV高真空离子溅射和镀碳一体化镀膜仪;CCU-010 HV高真空手套箱专用镀膜仪

CCU-010 HV 系列高真空镀膜仪的主要亮点在于实现了两大技术性突破:一是du家采用自动碳纤维卷绕系统,在每次蒸发后自动推进碳纤维,在不破真空更换碳源的情况下可进行数十次的镀碳运行,比市场上常见的单次、双次或四次碳纤维镀膜方式节省大量的人工操作,既适用于大多数常规镀碳应用,也适用于超薄或超厚碳膜以及温度敏感样品的应用。二是将“镀膜前对样品表面进行等离子清洁(增加附着力)+镀膜+镀膜后对膜层表面进行改性(比如:亲水化)或刻蚀”全流程集于同一台仪器同一次真空下完成,大大提高了镀膜质量,拓宽了应用范围。另外,瑞士制造,是“精密”和“高品质”的代名词;瑞士原厂货源,覃思本地服务,客户买得放心、用得省心!


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