仪器简介:
本仪器主要适用于扫描电子显微镜样品镀膜导电膜(金膜),仪器操作简单方便,
是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。
技术参数:
1.靶(上部电极):材料:金,直径:50mm,厚度:0.1mm 纯度:99.999%
2、真空室:直径:160mm,高:110mm
3.样品台(下部电极):溅射面积:直径:50mm
4.工作真空: 2×10-110-1 mbar
5.离子电流表:最大电流:50mA
6.计时器:根据溅射习惯设定单次溅射时间。
7.最高电压:-1600DVC
8.机械泵:2升/每秒
9.工作室工作媒介气体:空气或氩气,
10.真空气阀: 配有氩气专用进气口和微量充气调节,可连接φ4*2.5mm软管。
主要特点:
轻便、溅射面积大
靶材可按用户要求加工制作
北京和同创业科技有限责任公司
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