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NanoCalc薄膜反射光谱仪系统

NanoCalc 薄膜反射测量系统

薄膜的光学特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm~250μm的膜厚分析测量，对单层膜的分辨率为0.1nm。根据测量软件的不同，可以分析单层或多层膜厚。

产品特点

可分析单层或多层薄膜
分辨率达0.1nm
适合于在线监测
操作理论

最常用的两种测量薄膜的特性的方法为光学反射和投射测量、椭圆光度法测量。NanoCalc利用反射原理进行膜厚测量。

查找n和k值

可以进行多达三层的薄膜测量，薄膜和基体测量可以是金属、电介质、无定形材料或硅晶等。NanoCalc软件包含了大多数材料的n和k值数据库，用户也可以自己添加和编辑。

应用

NanoCalc薄膜反射材料系统适合于在线膜厚和去除率测量，包括氧化层、中氮化硅薄膜、感光胶片及其它类型的薄膜。NanoCalc也可测量在钢、铝、铜、陶瓷、塑料等物质上的抗反射涂层、抗磨涂层等。

NanoCalc系统

NC-UV-VIS-NIR

重量：

250-1100 nm

厚度：

10 nm-70 μm

光源：

氘卤灯

NC-UV-VIS

重量：

250-850 nm

厚度：

10 nm-20 μm

光源：

氘卤灯

NC-VIS-NIR

重量：

400-1100 nm

厚度：

20nm-100μm (可选1μm-250μm)

光源：

卤灯

NC-VIS

重量：

400-850 nm

厚度：

50 nm-20μm

光源：

卤灯

NC-NIR

重量：

650-1100 nm

厚度：

70 nm-70μm

光源：

卤灯

NC-NIR-HR

重量：

650-1100nm

厚度：

70 nm-70μm

光源：

卤灯

NC-512-NIR

重量：

900-1700 nm

厚度：

50 nm-200μm

光源：

高亮度卤灯

NanoCalc规格

入射角：

90°

层数：

3层以下

需要进行参考值测量：

是

透明材料：

是

传输模式：

是

粗糙材料：

是

测量速度：

100ms - 1s

在线监测：

可以

公差（高度）：

参考值测量或准直(74-UV)

公差（角度）：

参考值测量

微黑子选项：

配显微镜

显示选项：

配显微镜

定位选项：

6"和12" XYZ 定位台

真空：

可以


2NanoCalc薄膜反射光谱仪系统产品样册

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