应用原子力显微镜对高深宽比样品的观察

一直以来，高深宽比样品的观察对原子显微镜来说是非常困难的，这主要是因为绝大部分的原子力显微镜的探针是金字塔形随着样品深度的增加，探针的直径将越来越大 应用一种全新的扫描模式SIS（Samp领 Intelligent Scan）可以解决这个问题 精工（Seiko）扫描探针显微镜/原子力显微镜