磁控溅射仪

配置参数如下：

2 仪器尺寸：600mm W x 450mm D x 750mm H

2 工作腔室：硼硅酸盐玻璃180mm Dia x 200mm H

2 真空系统： 涡轮分子泵，抽速为300L/s
前级机械泵：抽速为2L/s，带防返油电磁阀及油污过滤器

2 真空测量：采用复合真空计监测真空

2 极限真空度: 优于5×10^-5Pa

2 工作真空度：溅射真空度手动调整

2 工作气体：溅射工作气体:氩气

2 工作电压：0-800V

2 溅射电流：0-1000mA

2 靶材：ф60-80mm弱磁靶

2 电源：230V/50Hz(包括泵最大电流为6安培)

选配项：

气体质量流量计 冷水机

根据用户要求进行功能改装