配置参数如下:
2 仪器尺寸 : 400mm×320mm×450mm(L×W×H)
2 真空样品室: 硼硅酸盐玻璃 170mm×200mm(D×H)
2 操作真空: 2×10-2mbar
2 工作电压: 0-10V /AC可调
2 蒸碳电流 0-80A
2 真空泵: 2升两级机械旋转泵
北京意力博通技术发展有限公司
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