EXT75DX 爱德华复合涡轮分子泵-北京科宇翔贸易有限公司

详细信息

产品简介：

BOC Edwards EXT泵适用于除最苛刻的半导体应用和科学应用(这些领域可使用STP系列泵)以外的任何领域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷轴承和磁悬浮轴承的组合形式。陶瓷轴承与传统轴承相比具有更轻、更硬和更平稳的优点，以及寿命长、小振动的优点。由于轴承滚珠和轴承座使用了不同材料，防止了微小凹陷而提高可靠性。

功能特点：

* 兼容TIC涡轮仪表控制器。
* 多种通讯模式。
* 并口，用于传统控制信号接口。
* 串口，用于RS-232接口。
* 通过RS-232接口，用户可以设置各种参数RS-232。
* 正常泵速显示。
* 准备转速显示。
* 泵温。
* 增强型泵速、功耗、温度监测。

技术参数：

入口法兰 DN63ISO-K

压缩比

N2 >1 x 10E11

He 1 x 10E6

出口法兰 DN16NW

级间口(Hi型) DN25NW

放气口 1/8 inch BSP

吹扫净化口 1/8 inch BSP

最高入口压力(抽轻气体) *

水冷(水温15°C，大气温度40°C) 2 x 10E-2 mbar

空冷(大气温度35°C) 1 x 10E-2 mbar

额定转速 90000 rpm

工作转速 49500～90000 rpm (缺省 63000 rpm)

转速达到90%所需时间 ** 110 s

冷却方式空冷/水冷

大气温度(空冷) 5-35 °C

冷却水zuidi流速(水温15 °C) 15 l/h

水温范围 10-20 °C

入口法兰最高温度 100 °C

工作姿态垂直

噪音(1m处) <50 dB(A)

控制器(推荐) TIC100 涡轮控制器或TIC100涡轮仪表控制器

重量 3.0 kg
前级泵也可以使用抽速更大的旋片泵，还可使用极限真空小于5mbar的隔膜泵。
超出该入口压力时，转速为额定转速。
此时功率80W。
没安装入口筛网。安装筛网时，泵速下降约10%。
前级泵为两级旋片泵，并烘烤48小时。
Pb <5 mbar(500 Pa)并烘烤48小时