岛津场发射电子探针EPMA-8050G-岛津企业管理（中国）有限公司

详细信息

“The Grand EPMA” 诞生

搭载最场发射电子光学系统
将岛津EPMA分析性能发挥到极致

从SEM观察条件到1μA量级，在各种束流条件下都拥有无与伦比卓越空间分辨率的场发射电子光学系统。结合岛津传统的高性能X射线谱仪，将分析性能发挥至极致。

当之无愧的“The Grand EPMA” ，最高水准的EPMA诞生！

超高分辨率面分析

对碳膜上Sn球放大3万倍进行面分析。即使是SE图像（左侧）上直径只有50nm左右的Sn颗粒，在X射线图像（右侧）上也是清晰可见。

最技术实现

■ 无与伦比卓越的空间分辨率
EPMA可达到的*** 别的二次电子图像分辨率3nm（加速电压30kV）分析条件下No.1的二次电子分辨率。
（加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA）

■ 二次电子图像最高分辨率3nm
碳喷镀金颗粒的观察实例。实现最高分辨率
3nm（@30kV）。相对较高的束流也可将电子束压
细聚焦，更加容易的获得高分辨率的SEM图像。

■ 大束流超高灵敏度分析
实现3.0μA（加速电压30kV）的最大束流。
全束流范围无需更换物镜光阑。

■ 最多可同时搭载5通道高性能4英寸X射线谱仪
无人可及的52.5°X射线取出角。
4英寸罗兰圆半径兼顾高灵敏度与高分辨率。
最多可同时搭载5通道相同规格的X射线谱仪。

■ 全部分析操作简单易懂
全部操作仅靠一个鼠标就可进行的先进可操作性。
追求「易懂」的人性化用户界面。
搭载导航模式，自动指引直至生成报告。

超高灵敏度面分析

使用1μA束流对不锈钢进行5000倍的面分析。精确地捕捉到了Cr含量轻微不同形成的不同的相（左侧），同时也成功地将含量不足0.1%的Mn分布呈现在我们眼前（右侧）。