关键特性:·高分辨检测: M60,支持4K/800PPI以上分辨率检测·缺陷复核: 实现5μm缺陷**测量、以及90%点缺陷**分类·微弱缺陷: 高亮彩色背光技术,结合MO60实现10 5μm检测;独 家实现碎亮点检出率90%以上·自动探针定位: 40μm压接精度,满足COF等高精度要求
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