上海尔迪仪器科技有限公司
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Diener Tetra30 等离子表面处理仪

Diener等离子表面处理设备 德国原装进口

德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司, 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术**者。Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz 80KHz13.56MHz,以及代表等离子应用zuixianjin技术的2.45GHz的等离子清洗机。

目前设备广泛应用于:等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的zuiyou质产品,以保证性能技术稳定。

德国diener等离子表面处理设备特点:

德国diener等离子表面处理设备的应用范围:

Diener Tetra30 Plasma

主要技术参数:

1.*便捷的PC触摸屏控制,操作系统为Windows CE5.0(ARM)

2.*根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量与时间等参数

3.双路工作气体,气体流量通过数字式流量计(MFC)控制

4.*反应舱为不锈钢,宽305mm ×深625 mm×高300 mm,容积约为50L

5.高周波电流频率13.56MHz,功率0~300W

6.反射波自动调节,无须手工调节

7.电极材质为铝/不锈钢

8.运行模式为手动/自动

9.*可存储多套工艺程序,图表实时显示工艺过程

10.真空泵的排气能力为16m3/Hour,配有强制进气阀

11.*配有压力传感器,可根据工艺要求设定压力值

12.电源电压:400V /16A

等离子设备:在纺织行业的应用

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