Diener等离子表面处理设备 德国原装进口
德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司, 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术**者。Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz 、80KHz、13.56MHz,以及代表等离子应用zuixianjin技术的2.45GHz的等离子清洗机。
目前设备广泛应用于:等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的zuiyou质产品,以保证性能技术稳定。
德国diener等离子表面处理设备特点:
等离子清洗机清洗效果好,效率高,应用范围广。
对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求
等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。
射频功率无极连续可调。
高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。
特制电极和托盘结构,可充分利用真空舱体内部空间,使处理效率最大化,同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。
特有的过载、短路和过热保护电路,可保证射频电源的稳定和安全。
设备整体模块化设计,安装与维护极为简单。
德国diener等离子表面处理设备的应用范围:
清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片。
清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。
移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质。
清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石。
清洗半导体元件、印刷线路板。
清洗生物芯片、微流控芯片。
清洗沉积凝胶的基片。
高分子材料表面修饰。
牙科材料、人造移植物、医疗器械的消毒和杀菌。
改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。
煤、石棉灰化。
Diener Tetra30 Plasma
主要技术参数:
1.*便捷的PC触摸屏控制,操作系统为Windows CE5.0(ARM)
2.*根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量与时间等参数
3.双路工作气体,气体流量通过数字式流量计(MFC)控制
4.*反应舱为不锈钢,宽305mm ×深625 mm×高300 mm,容积约为50L
5.高周波电流频率13.56MHz,功率0~300W
6.反射波自动调节,无须手工调节
7.电极材质为铝/不锈钢
8.运行模式为手动/自动
9.*可存储多套工艺程序,图表实时显示工艺过程
10.真空泵的排气能力为16m3/Hour,配有强制进气阀
11.*配有压力传感器,可根据工艺要求设定压力值
12.电源电压:400V /16A
上海尔迪仪器科技有限公司
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