上海尔迪仪器科技有限公司
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Diener电镜专用等离子清洗机Femto

Diener电镜专用等离子清洗机


用途:

主要用于除去透射电镜样品及样品杆上的污染,防止碳沉积以降低图像分辨率及对样品微区分析造成误判。还可以利用该仪器清洗各类光阑等电子显微镜配件。特别适用于场发射扫描电镜和场发射透射电镜。用这种低能高频等离子体清洗样品表面,不会改变样品元素成份和表面结构特征。


主要技术参数:


1. 可对多孔碳膜进行高效且无破坏的清洗,提高样品在低电压下的成像能力,在化学微量分析时提高其精度

2. 无油真空系统:泵体部分由多级隔膜泵和超净音分子泵组成,在保证真空度的同时,可在两分钟之内达到抽真空和放气过程,整个清洗过程在4分钟内可以完成

3. 可清洗标准透射电镜样品杆

4. 可清洗多孔碳膜

5. 清洗时间:普通污染样品小于2分钟,重度污染样品小于10分钟

6. 重现性:可以自动记录下同类产品清洗的条件,下次清同类产品时可以样条件进行


技术规格:

控制方式手动控制
发生器40KHz,0~100W
腔体材质高硼硅玻璃
腔体尺寸Dia.90*L280mm
气路

单路

清清时间旋钮式计时器0~99hour
压力控制范围0~2mbar
外型尺寸W345*D420*H211mm
电源电压单相AC230V,16A
真空泵排气速度4m3/hour,极限真空度0.5Pa
选配
发生器2.45GHz和13.56MHz
腔体材质石英玻璃
气路双路
计时器数字式计时器
减压阀配专用气路接口
钢瓶10L




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