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KASHIYAMA大排量真空泵SDL系列

1.可用于大尺寸的Wafer & FPD

大容量可组合使用。大于150kL/min的容量也可按要求提供。

2.缩短周期时间

大容量约为atm.压力，可实现高速泵送，最适合大型L/L室

用于溶剂抽空的泵也在排队

型号

SDL12E50/60

SDL20E60

SDL36E60

排气速度 [L/min] *1

25,000

40,000

60,000

极限真空度 [Pa] *1

0.8

电源电压 (50/60Hz)

3Phase AC200～220V, 380～480V

尺寸 [mm] L×W×H

1020×520×1050

1370×850×1295

钟灵 [kg]

645

800

920

*1) 氮气吹扫不工作状态下

S-P 曲线


1.可用于大尺寸的Wafer & FPD

大容量可组合使用。大于150kL/min的容量也可按要求提供。

2.缩短周期时间

大容量约为atm.压力，可实现高速泵送，Z适合大型L/L室

用于溶剂抽空的泵也在排队
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