详细信息
1.可用于大尺寸的Wafer & FPD
大容量可组合使用。大于150kL/min的容量也可按要求提供。
2.缩短周期时间
大容量约为atm.压力，可实现高速泵送，最适合大型L/L室
用于溶剂抽空的泵也在排队
型号 | SDL12E50/60 | SDL20E60 | SDL36E60 |
排气速度 [L/min] *1 | 25,000 | 40,000 | 60,000 |
极限真空度 [Pa] *1 | 0.8 |
电源电压 (50/60Hz) | 3Phase AC200～220V, 380～480V |
尺寸 [mm] L×W×H | 1020×520×1050 | 1370×850×1295 |
钟灵 [kg] | 645 | 800 | 920 |
*1) 氮气吹扫不工作状态下
S-P 曲线
产品优势
1.可用于大尺寸的Wafer & FPD
大容量可组合使用。大于150kL/min的容量也可按要求提供。
2.缩短周期时间
大容量约为atm.压力，可实现高速泵送，Z适合大型L/L室
用于溶剂抽空的泵也在排队
技术资料
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