详细信息
苛刻工艺的标准型
1.可达到200kL/min.
2.最适合大尺寸晶圆和FPD使用。
3.经得起各种工艺的考验
规格书 /产品介绍 | SDE1220 | SDE20M20 | SDE30M20 | SDE4060 | SDE4030M20 | SDE8060 | SDE804060 |
抽速[L/min] | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 60,000 | 80,000 | 120,000 | 190,000 |
极限压力[Pa] | 0.5 | 0.8 | 0.5 | 0.8 | 0.5 |
电源电压(50/60Hz) | 3 Phase AC200～220V，380～480V |
尺寸[mm] 宽*高*长 | 400 * 780 * 930 | 450 * 950 * 1000 | 450 * 950 * 1000 | 750 * 1200 * 1600 | 800 * 1580 * 1320 | 850 * 1220 * 1600 | 1000 * 1980 * 1850 |
*1) 也可提供小于20000L/min的小型泵
*2) 包装尺寸因规格而异
*3) 关于国际标准的遵守情况，请联系我们产品规格和名称如有变更，恕不另行通知
S-P曲线
产品优势
苛刻工艺的标准型
1.可达到200kL/min.
2.Z适合大尺寸晶圆和FPD使用。
3.经得起各种工艺的考验
技术资料
长按识别二维码查看信息详情