氦镉激光器
PLASMA公司是世界上的气体激光器生产商，其产品主要特点是高质量、长寿命、中等价格。
1. 标准设计，HCL系列
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波长442nm |
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型号 |
功率(mW) |
横模 |
偏振 |
光斑尺寸(mm) |
发散角 (mrad) |
|
HCL-50V |
60 |
TEMOO |
100:1 |
1.6 |
0.9 |
|
HCL-60V(I) |
80 |
TEMOO |
100:1 |
1.6 |
0.9 |
|
HCL-70VМ(I) |
100 |
多模 |
1:1 |
2.0 |
2.5 |
|
HCL-100V |
100 |
TEMOO |
100:1 |
2.1 |
0.9 |
|
HCL-100V(I) |
150 |
TEMOO |
100:1 |
2.1 |
0.9 |
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波长325nm |
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型号 |
功率(mW) |
横模 |
偏振 |
光斑尺寸(mm) |
发散角 (mrad) |
|
HCL-30UM(I)P |
30 |
多模 |
100:1 |
1.6 |
2.5 |
|
HCL-10U |
10 |
TEMOO |
100:1 |
1.5 |
0.9 |
|
HCL-30UM(I) |
35 |
多模 |
1:1 |
1.6 |
2.5 |
|
HCL-100U(I) |
30 |
TEMOO |
100:1 |
1.7 |
0.9 |
|
波长442nm和325nm |
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型号 |
功率(mW) |
横模 |
偏振 |
光斑尺寸(mm) |
发散角 (mrad) |
|
HCL-40 |
5/35 |
多模/TEMOO |
100:1/100:1 |
1.4/1.4 |
0.9/0.9 |
|
HCL-40M |
10/40 |
多模/TEMOO |
100:1/100:1 |
1.5/1.5 |
2.5/0.9 |
|
HCL-40(I) |
15/50 |
多模/TEMOO |
100:1/100:1 |
1.5/1.5 |
2.0/0.9 |
|
HCL-100(I) |
20/100 |
多模/TEMOO |
100:1/100:1 |
2.0/2.0 |
2.0/0.9 |
注：带(I)的型号激光相干长度为30cm，不带(I)的型号相干长度为10cm
2. 紧凑型设计，HCCL系列
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波长442nm |
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型号 |
功率(mW) |
横模 |
偏振 |
光斑尺寸(mm) |
发散角 (mrad) |
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HCCL-10V |
10 |
TEMOO |
100:1 |
1.5 |
1.3 |
|
HCCL-20VМ |
20 |
多模 |
1:1 |
1.8 |
2.5 |
|
HCCL-25V |
25 |
TEMOO |
100:1 |
1.5 |
1.3 |
|
波长325nm |
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型号 |
功率(mW) |
横模 |
偏振 |
光斑尺寸(mm) |
发散角 (mrad) |
|
HCCL-4UM |
6 |
多模 |
1:1 |
1.8 |
2.5 |
|
HCCL-8UM(I) |
12 |
多模 |
1:1 |
1.8 |
2.5 |
|
HCCL-15UM |
15 |
多模 |
1:1 |
1.8 |
2.5 |
|
HCCL-30UM(I) |
25 |
多模 |
1:1 |
1.8 |
2.5 |
注：带(I)的型号激光相干长度30cm，不带(I)的型号相干长度10cm。
氮分子激光器
氮分子激光器的发射带在UV波段，主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm。
PLASMA 拥有横向和纵向激励的脉冲氮分子激光器，由于其独特的性能（波长337nm、脉冲宽度小于10ns、平均功率0.01-1W），被广泛应用于微电子领域如光掩模、复杂的集成电路、薄膜电阻的生产、处理。由于其短波长更易聚焦得到小光斑，因此被用于加工亚微米量级的元件。此外，还被用于多种感光材料的高效曝光光源。
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参数 |
NPL-3 |
LGI-505 |
LGI-511 |
|
波长, μm |
0.337 |
0.337 |
0.337 |
|
脉冲能量, μJ |
30 |
120 |
240 |
|
平均功率, mW |
3 |
120 |
240 |
|
光束直径, mm |
2 |
5 |
5 |
|
脉冲重复频率: |
1-100 |
5-1000 |
1 -1000 |
|
脉冲宽度, ns |
5±1 |
8 ±2 |
8 ±2 |
|
尺寸, mm |
350x325x150 |
484x510x215 |
1140x525x345 |
|
重量, kg |
10 |
35 |
105 |
|
电压, V |
220 |
220 |
220 |
|
功率消耗, w |
50 |
1200 |
1500 |
|
制冷方式 |
风冷 |
水冷 |
水冷 |
|
工作温度, OC |
0...+40 |
0...+40 |
+10...+40 |
|
质保工作时间, h |
500 |
1000 |
500 |
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