Phasics SID4 UV波前测试仪

ＳＩＤ４　ＵＶ－ＨＲ（紫外光）

基于相位的ZG技术, 在190纳米到400纳米波段，SID4 UV-HR波前分析仪（在紫外光谱范围内）具有超高的分辨率(250 x250)和极高的灵敏度(0.5 nm RMS)。因此SID4 UV-HR是完全适应光学组件描述(用于光刻、半导体)和表面检测(镜头,晶片……)

主要特点

．超高分辨率　２５０×２５０

．高灵敏度　　０．５ｎｍ RMS

．大型分析孔　８．０×８．０ｍｍ

.可以直接对光学器件表面进行测量

推荐用途

．紫外激光器：光束的测量和校正

．光学：紫外线光学（半导体）测试和表面测量。

ＳＩＤ４　ＵＶ－ＨＲ的详细规格