上海昊量光电设备有限公司
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非接触式金属膜厚测量仪

产品介绍：

非接触式金属膜厚测量仪


昊量光电新推出用于导电薄膜和薄金属层膜厚测量的非接触式金属膜厚测量仪EddyCus TF Series，这款金属膜厚测量仪可以非接触式实时测量，对导电薄膜的膜厚精确测量，表征已被隐藏和封装的导电层，并把测量数据保存和导出。


非接触式金属膜厚测量仪主要测试对象：

  • 镀膜建筑玻璃，如LowE

  • 显示器，触摸屏和平板显示器

  • OLED和LED

  • 智能玻璃

  • 石墨烯层

  • 光伏晶圆和电池

  • 半导体晶片

  • 金属化层和晶圆金属化

  • 电池电极

  • 导电涂布纸和导电纺织品


单点金属膜厚测量仪EddyCus TF lab 2020MT


单点金属膜厚测量仪EddyCus TF lab 2020MT可以对透明和非透明层的非接触金属厚度进行测量。测量是通过非接触式涡流传感器实现的。它可以实时地对已知或确切的常数电导率的材料的进行厚度测量。这种非接触测试技术能够在较宽的厚度范围内进行精确测量，从几纳米厚度开始，一直到厚金属板的表征。电涡流技术还能够对被有害材料覆盖的金属层进行表征。单点金属膜厚测量仪也可以为非常薄的膜层以及非常厚的金属和普通合金提供特定的材料设置。该测量方法具有极强的鲁棒性和高重复性和高精度。此外，它不需要任何光学透明度，也不用物理接触。

软件和设备控制：

  • 非常用户友好的软件

  • 直观的触摸显示导航

  • 实时测量板材电阻和层厚

  • 软件辅助手动映射选项

  • 各种数据保存和导出选项


非接触式金属膜厚测量仪规格参数：

Measurement technologyNon-contact eddy current sensor
SubstratesFoil, glass, wafer, etc.
Substrate area8 inch / 204 mm x 204 mm (open on three sides)
Max. sample thickness/ sensor gap3 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample)
Metal thickness range
Accuracies depend on the selected setup and the type /
conductivity of the metal (e.g. copper, aluminum, silver)		Low             1 – 10 nm; 2 – 5 % accuracy
Standard    10 – 1,000 nm; 1 – 3 % accuracy
High            1 – 100 µm; 0.5 – 3 % accuracy
Metal thickness calibrationDirect thickness calibration / sheet resistance conversion
Device dimensions (w/h/d)11.4” x 5.5” x 17.5” / 290 mm x 140 mm x 445 mm
Weight10 kg
Further available features / other tool configurationsSheet resistance measurement / conductivity / resistivity / electrical anisotropy / permeability (beta)


非接触式金属膜厚成像测量仪EddyCus TF map 2530MT


    


非接触式金属膜厚成像测量仪EddyCus TF map 2530MT是一种非接触式厚度成像系统。这款金属膜厚成像设备利用非接触式涡流传感器来确定任何已知电导率或特征电导率剖面，如金属或合金材料的厚度。这种非接触式测试技术可以在较宽的厚度范围内进行精确测量，厚度范围从几纳米到毫米。此外，它还可以应用于非导电材料封装的薄膜。该测量方法具有良好的鲁棒性和较高的重复性和精度。它不受光学特性的影响，有利于各种生产非透明金属薄膜的行业。这种紧凑的台式系统用于制造研发和测试实验室的快速测试或系统质量保证的广泛应用。


软件和设备控制：

  • 非常用户友好的软件

  • 实时映射测量

  • 易于使用的统计分析选项

  • 预定义的测量和产品配方(尺寸、音高、阈值)

  • 直线扫描，直方图和区域分析

  • 黑色和彩色图像编码

  • Csv & PDF导出

  • PC汇总导出

  • 用于参数转换的材料数据库

  • 边缘效应的补偿

  • 数据的存储和导入

  • 导出数据集(如eddyva, MS Excel, Origin)


非接触式金属膜厚测量仪规格参数：

Measurement technologyNon-contact eddy current sensor
SubstratesWafer, glass, foil, etc.
Max. scanning area12 inch / 300 mm x 300 mm (larger upon request)
Edge effect correction / exclusion2 – 10 mm (depending on size, range, setup and requirements) 
Max. sample thickness / sensor gap3 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample)
Metal thickness range
Accuracies depend on the selected setup and the type /
conductivity of the metal (e.g. copper, aluminum, silver)		Low             1 – 10 nm; 2 – 5 % accuracy
Standard    10 – 1,000 nm; 1 – 3 % accuracy
High            1 – 100 µm; 0.5 – 3 % accuracy
Metal thickness calibrationDirect thickness calibration / sheet resistance conversion
Sheet resistance range (optional)0.1 mOhm/sq – 100,000 Ohm/sq (in 5 ranges)
Scanning pitch (X and Y)1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 mm 
Scanning time8 inch / 200 mm x 200 mm in 1.5 to 15 minutes (1 – 10 mm pitch)
12 inch / 300 mm x 300 mm in 2 to 15 minutes (2.5 – 25 mm pitch)
Device dimensions (w/h/d) / weight31.5” x 19.1” x 33.5” / 785 mm x 486 mm x 850 mm / 90 kg
Further available features / other tool configurationsSheet resistance measurement / conductivity / resistivity / anisotropy / permeability (beta)


手持式金属膜厚测量仪EddyCus TF portable1010



手持式金属膜厚测量仪EddyCus TF portable1010一种方便和便携的测量设备，用于生产或现场的大型玻璃和金属箔的快速接触测量，例如在制造后的快速质量检查或作为来料良好的检查。手持设备允许测量甚至隐藏和封装层。这是一个易于使用的设备，通过触摸显示器控制。

  • 手工质量控制，进料检验，出料检验

  • 导电材料的接触表征

  • 单点接触测量(要求恒距离测量)

  • 150 x 150毫米的平面表面(50 x 50毫米和100 x 100毫米可选)


Measurement technologyEddy current sensor
Measurement modeRealtime at constant distance / contact
SubstratesGlass, plates, foils etc.
Substrate sizesFlat samples > 150 mm x 150 mm (6 inch x 6 inch) Curved editions are available for several applications
Measurement spot / high sensitivity zone40 mm diameter (1.6 inch)
PowerLithium ion battery up to 20 h
Metal thickness range (four setups available)

very low: 0.001 – 0.1 Ohm/sq
Type low: 0.04 – 0.1 Ohm/sq
Type standard: 0.3 – 30 Ohm/sq
Type high: 0.3 – 50 Ohm/sq

Range depends on material conductivity. Examples:

CuAlAgTi0.17 – 17 µm0.27 – 27 µm0.16 – 15 µm5.5 – 550 µm170 – 425 nm270 – 675 nm155 – 380 nm5.5 – 13 nm0.6 – 56 nm0.9 – 90 nm0.5 – 50 nm0.018 – 1.85 µm0.4 – 56 nm0.6 – 90 nm0.3 – 50 nm0.013 – 1.85 µm

 

Sheet resistance measurementAvailable as additional feature, 5 ranges are available between 0.001 to 100 Ohm/sq
Accuracy (for planar solid surfaces, e.g. glass) < 3%
DISPlay2.8 inch colored touch screen
Device dimensions (w/h/d) @ weight3.5” x 7” x 1.9” / 87 mm x 178 mm x 48 mm @ 340g
InterfacesBluetooth (optional) + data center


基于高频电涡流技术非接触测量导电材料和金属膜层的厚度，薄层电阻，电导率等
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