DLP/DMD光刻照明光源

DLP/DMD光刻照明光源

昊量光电新推出LumiDLP光刻照明光源通过大面积提供高度均匀的通量密度为紫外DLP应用提供前所未有的速度和分辨率。模块化设备结合了密集封装的UV-LED阵列成为一种高效、非成像采集光学设备，集成了远心成像光学优化DLP芯片组。

这款DMD光刻光源为基于DLP技术的具有挑战性的曝光应用提供出色的UV-LED照明。特别是要求蕞高强度和多波长光谱的设置非常适合。数值孔径为0.2（光束角度±12°）和非常高的照明均匀性、这些构成DLP-芯片曝光的完 美解决方案。

DLP/DMD照明器提供高达30W的光辐射功率。单波长和多波长设置可供选择（365nm、385nm、395nm、405nm）。这款DLP/DMD光刻照明光源提供的辐射功率与汞放电灯相当、但具有LED技术的寿命和总成本优势。此外、DLP/DMD光刻照明光源还可以很好地替代基于单色激光二极管（例如、LD405nm）的照明器。

LumiDLP光刻照明光源是专为DLP9000和DLP9500芯片设计的、可以轻松集成到基于DMD的系统中。

DLP/DMD光刻照明光源产品亮点：

• 专为DLP®9000和DLP®9500设计

• 包括高性能LED驱动器、便于控制和编程

• 高强度性能能够缩短/减少处理时间

• 由于频谱宽广、可以使用多种类型的抗蚀剂

• 不会过时的无汞光源

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DLP/DMD光刻照明光源产品规格：